电子级超纯水系统

(水质指标均符合美国的ASTM标准，符合电子部超纯水水质标准（18MΩ*cm，15MΩ*cm，2MΩ*cm和0.5MΩ*cm四级) 

    预处理－反渗透－ 水箱－阳床－阴床－混合床－纯化水箱－纯水泵－紫外线杀菌器－精制混床－精密过滤器－用水对象 

    预处理－一级反渗透－加药机（PH调节）－中间水箱－第二级反渗透（正电荷反渗膜）－纯化水箱－纯水泵－紫外线杀菌器－0.2或0.5μm精密过滤器－用水对象 

    预处理－二级反渗透－中间水箱－水泵－EDI装置－纯化水箱－纯水泵－紫外线杀菌器－0.2或0.5μm精密过滤器－用水对象 

    预处理－二级反渗透－中间水箱－水泵－EDI装置－纯化水箱－纯水泵－紫外线杀菌器－精制混床－0.2或0.5μm精密过滤器－用水对象 .

应用场合 

· 系统适合用于半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路的场所； 

· 适合应用于超纯材料和超纯化学试剂； 

· 实验室和中试车间 

· 汽车、家电表面抛光处理； 

· 其他高科技精微产品。